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        首頁 > 產品中心 > 光學平臺 >進口主動隔振平臺 >SEM-Base VITMC主動減震基座平臺系統

        • TMC主動減震基座平臺系統
        • TMC主動減震基座平臺系統
        產品名稱:

        TMC主動減震基座平臺系統

        更新時間:2019-12-11

        產品型號: SEM-Base VI
        TMC主動減震基座平臺系統
        SEM-Base&#174; VI采用獨特串聯結構,振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。
        • 詳細內容

        TMC主動減震基座平臺系統 SEM-Base® VI

        用于SEM的TMC主動式壓電陶瓷振動消除地面式系統-非氣浮式系統

        SEM-Base® VI是TMC STACIS主動壓電振動消除產品系列的新一代產品。SEM-Base®  VI設計用于承載所有商業掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數聚焦離子來顯微 鏡(FIB)及小型雙尤來設備。SEM-Base® VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更強勁的控制器,帶有圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現能夠滿足其關鍵設備所要求的地面振動水平。

        SEM-Base® VI采用獨特串聯結構,振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器,在測量亞Hz振動時具有大的敏感度。加上TMC獨特的壓電致動技術,SEM-Base® VI即使在振動情況已經很好的地面上也可以實現超高水平的振動消除。

        相比之前的SEM-Base版本,SEM-Base® VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式雙核處理器,為設備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面,可以快速進入系統并實現平和的操作心態。當通過Ethernet連接時,DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現SEM-Base圖形用戶界面,無需額外安裝軟件或者應用程序。當然用戶也可以通過控制器的菜單驅動液晶屏(LCD)直接進行控制。

         

        SEM-Base® VI特點:

        • STACIS技術
        • 主動慣性振動清除系統
        • 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數商業SEM
        • 負載能力:408-1134kg (900-2500 lb.)
        • 隔振效率1Hz:40-70%
        • 隔振效率經2Hi:90%
        • 隔振效率>3Hz:90-98%
        • 6個主動自由度
        • 安裝容易,調試簡單
        • 兼容所有設備內直的振動隔離系統
        • 電源:100-240VAC, 50/60Hz, <600W
        • 是否需要空氣:非氣浮系統
        • CE與RoHS認證
        • 完全集成式的單平臺設計
        • 可安裝腳輪,輕松便攜移動,無需搬運
        • 兼容SEM-lift系統

        TMC主動減震基座平臺系統SEM-Base® VI優勢:

        硬式裝載技術

        • SEM-Base® VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統,從0.6Hz開始主動強力消減地面低頻振動。

        主動慣性振動消除

        • SEM-Base® VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。

        串行設計與壓電技術

        • 獨特串行設計加上高強度壓電技術,SEM-Base® VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬,更實現了的慣性主動振動消除,2Hz以上的振動衰減可達 90%以上。

        完全集成式的單平臺設計

        • SEM-Base® VI設計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了jizhi,簡單的定位與設置之后即可正常工作。

        NOTE:可選SEM-Closure,專門設計用于保護SEM的完整環境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內可兼顧放置 SEM-Base® VI與Mag-Net X,保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響

          SEM-Base® VI 性能規格:

          Active degrees of freedom

          6

          Active bandwidth

          0.6 Hz - 100 Hz

          Passive natural frequency

          12 Hz nominal

          Effective active resonant frequency

          0.5 Hz

          Isolation at 1 Hz

          40% - 70%

          Isolation at 2 Hz

          90%

          Isolation at ≥3 Hz

          90-98%

          Internal noise

          <0.1 nm RMS

          Operating load range

          Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)
          High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)

          Static lift capacity

          12,000 lbs (5454 kg)

          Magnetic field emitted
          at maximum 4 in.(102 mm)
          from the platform

          <0.02 μG broadband RMS

          隔離器設計,尺寸,環境和實用要求

          Environmental and safety

          CE and RoHS compliant

          Active isolation elements

          high-force piezoelectric actuators that receive signal
          from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

          Passive isolation element

          single stiff elastomer (no compressed air supply required)

          Vibration sensor elements

          downward facing geophone type inertial sensors
          that measure floor vibration below the isolator
          and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

          Active feedback control loop

          Floor vibration is measured, processed
          and attenuated below the spring
          supporting the isolated surface

          Dimensions (D)

          35.25 x 44.25 in.
          895 x 1124 mm

          Height

          6.3 in. (160 mm) nominal,
          doesn't change when SEM-Base is switched off

          Operating temperature

          50° - 90° F
          10° - 32° C

          Storage temperature

          -40° - 130° F
          -40° - 55° C

          Humidity (operating)

          30 - 60%

          System power requirements

          100, 120, 230, 240 VAC
          50/60 Hz AC; <600 W
          CE compliant

          Floor displacement

          <800 μin. (20 μm) below 10 Hz

          內置控制器規格

          Processor

          150/75 MHz dual core

          Sampling rate

          10 kHz

          Analog outputs

          16 channels

          Analog inputs

          16 channels

          Status light

          single LED

          Front panel ports

          1x serial USB 2.0
          1x serial Micro-USB
          1x Ethernet RJ-45
          2x BNC

          User interface

          Front panel LCD display
          Character menu on HyperTerminal
          Extended GUI for Microsoft Windows
          Embedded Ethernet GUI

           

          性能曲線:

          1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

           

          產品尺寸:

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